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爱德华分子泵电源故障-清远爱德华分子泵电源-广东潽拓光电

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潽拓——爱德华分子泵电源,分子泵

维修 TURBOVAC450 i/iX 莱宝真空泵半磁浮分子泵TURBOVAC450 




广州潽拓维修Oerlikon莱宝半磁浮分子泵,Leybold TURBOVAC 450i德国莱宝分子泵进气法兰口DN160ISO-K/DN160CF,出气法兰口DN25,抽速可达到430 L/s ,转速为60000rpm,自带控制器。广州潽拓提供Pfeiffer(普发), Leybold(莱宝),Alca(阿尔卡特) ,Edwards(爱德华),Varia(瓦里安),Seiko Seiki(精工),Shimadzu(岛津),Agilen(安捷伦),Osaka(大阪),Busch(普旭),ULVAC(爱发科),KYKY(中科科仪)等一线品牌的真空涡轮分子泵





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广州潽拓光电成功维修 莱宝真空泵半磁浮分子泵TURBOVAC 350 i


       莱宝真空泵半磁浮分子泵TURBOVAC 350i

工作原理

    涡轮分子泵转子是一个带叶片的涡轮,快速旋转的叶片将动量传输给气体分子,将起初无方向性的热运动变成有定向运动。

    涡轮分子泵的抽气过程就是使气体分子从进气口法兰定向运动到前级真空口。

     在分子流范围——也就是在低于10-3mbar(0.75x 10-3Torr)的压强时,气体分子的平均自由行程大于转子与定子叶片之间的间距(典型为十分之零点几毫米),分子主要与转子叶片碰撞,所以

抽气过程非常。





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德国莱宝 Leybold MAG 400分子泵,二手分子泵维修保养

Leybold MAG400磁悬浮分子泵受损严重,广州潽拓光电成功维修,整体的图片如下:


       leybold MAG400磁悬浮分子泵是德国莱宝早期的单轴磁悬浮分子泵,在早期的半导体生产线中大量应用。

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